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铝型材防静电工作台的应用范围广泛

发布时间:2022-03-12 10:34:37发布人:admin来源:查看次数:192
由于铝型材防静电工作台超精密定位工作台应用范围广泛,国内外多个研究所和企业对其开展了大量的研究,经历了由早期的低精度定位工作台到新的高精度定位工作台的发展过程。早期的精密定位工作台多为一维低速的。图0.1所示的为法国Mekid等人研制的摩擦驱动精密工作台,其重量约为100kg,采用液体静压导轨支承,工作行程为220 lnl/1,直线定位工作台的定位精度可达16 nln,大运动速度可达10mm/s。

  不锈钢工作台是光刻机上极其重要的关键部件,它直接影响光刻机所能实现的特征线宽尺寸和生产率。不锈钢工作台精密加工技术的发展,尤其是各种光刻技术的发展,离不开超精密定位工作台技术的发展和进步。光刻技术的更新与新一代光刻机的研制对定位工作台提出了更高的要求,主要表现在精度、速度和行程等方面。因此,美国,日本等发达国家在研究光刻技术的同时,积极开展对定位工作台的研究,不断研制出高精度、高速度、长行程的定位工作台来满足光刻技术发展的需要,而目前主力的产品是超精密气浮定位工作台。 光刻技术在经历了接触式接近式/投影式-1:1反射扫描投影式一步进缩小投影式等几个大的技术阶段后,其特征线宽变得越来越小,硅片尺寸则逐渐变大,同时要求其具有高分辨率和大视场,因此,光刻机投影光刻物镜的设计、制造难度增大,成本急剧上升,为了克服投影光刻物镜成本急剧上升的弊端,目前光刻机正在向步进扫描投影方式过渡,几大光刻机生产厂家都已推出了步进扫描投影光刻机新产品。不锈钢工作台步进加扫描的工作方式虽然有利于降低投影光刻物镜成本,却对工作台提出了更高的要求。不锈钢工作台与以往的步进重复投影光刻方式相比,工作台除了要完成超精密步进、定位、调整 等动作外,还要进行动态扫描曝光。

对于100 nm线宽光刻机来说,铝型材防静电工作台要求两者之间的同步误差必须控制在0.006~0.01 μm以内,难度极大。因此,研制可精密控制的二维或多维运动的精密定位工作台成了必然的发展趋势。世界三大光刻机生产商日本的佳能公司和尼康公司、荷兰的Asml公司在其主力产晶扫描式光刻机中都采用了基于气浮支承技术的定位工作台方案。


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