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铝型材防静电工作台的运用技术

发布时间:2022-03-14 10:29:21view:220

  铝型材防静电工作台微光刻技术、数控加工、生物技术等领域的迅速发展,精益管工作台对精密定位工作台的精度、运行速度、行程、自动化程度和可靠性等提出了更高的要求。这些要求并非是孤立的,其中一些要求往往是相互联系和相互制约的。例如:定位精益管工作台的高速度和高精度要求是相互矛盾的,为了满足高精度的要求,定位精益管工作台的小运动量(或位移分辨率)要越小越好,而在伺服系统调速比有限的情况下,定位工作台的速度又不能随意地提高;长行程和高精度的要求也是矛盾的,行程越长,精益管工作台意味着在同样精度要求下对定位工作台中的导轨直度误差就越敏感,对零部件的加工和安装精度要求也更为苛刻,即定位精益管工作台的行程受到现有加工和安装精度的限制;精益管工作台自动化程度与可靠性也是一对矛盾,自动化程度越高,系统越复杂,实现高的可靠性就越困难,同时,高精度、高速度、长行程对控制系统的实现也提出了挑战。而在这众多的矛盾中,突出的是如何消除精密定位工作台运动部件间的摩擦。解决这一矛盾的有效方法之一就是采用气浮技术,因而也就出现了基于气浮支承和直线电动机驱动技术的超精密、长行程气浮定位工作台。

 铝型材防静电工作台直接驱动即利用亢线IU动机盲接驱动定位工作台,精益管工作台这种传动疗电动机到定位工作台之间的传动环口,把传动链缩妊为零,实现“零传动”与间接驱动^止州比,直接驱动片式更特定现高速度和高加速度的运动+q时再配合高精度的导轨就町以冀现业微米级和纳米缀的定位精度常川的直接驱动确阴种电融式盲线电动机驱动和压电式直线也动机医动。我Ⅲ在研制直线电动机驱动方向量然L经股得r不少成果,精益管工作台衄至令还没有两品化的直线电动机产品在国外,电磁式直线电动机的牛产商主要有美国的Anorad公司德国的lndr蜘at公司等,压电式育线电动机。

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