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铝型材防静电工作台的材料

发布时间:2022-03-15 15:34:47view:250
铝型材防静电工作台精密加工和精密测量工艺装备对定位工作台提出了高精度、高速度、长行程的技术要求,因此对定位工作台材料的选用也有非常高的要求。材料的选用直接影响着定位工作台的性能,采用低密度、非磁性和高刚度材料的趋势越来越明显。理论研究与实验研究表明,精密定位工作台采用低密度、高刚度的材料制造,可以减轻系统的质量,提高整个系统的刚度,从而提高定位工作台的动态性能。为此,不锈钢工作台通常采用氧化铝陶瓷、碳化硅等密度小、杨氏模量大的材料制作导轨,而在定位工作台的测量系统中常用殷钢制作基座。殷钢是由63.8%的铁、36%的镍以及0.2%的碳所组成的合金,其膨胀系数很低,通常称为“不胀钢”。在微电子加工和精密定位设备中,该类材料是制造对散热、尺寸等要求严格的工作台的极佳材料之一。不锈钢工作台基准反射镜的材料采用零膨胀玻璃。由于Zerodur(微晶玻璃材料的一种)具有低膨胀系数和良好的加工性能,因此常用来加工定位工作台的测量部件和其他重要零件。
本书的研究目的和主要内容的研究目的以超精密气浮定位工作台为研究对象,围绕气浮支承和直接驱动定位控制,开展定位工作台的动力学研究,对超精密气浮定位工作台的结构、气浮特性、动力学特性以及超精密控制和定位精度等方面进行专门研究,以期对我国的超精密气浮定位工作台的自主研制有所裨益。
    铝型材防静电工作台尽管可以查阅到国外相应的气浮定位工作台的结构及其他一些性能资料,但其核心技术由于受到专利法保护以及国外高精尖技术出口政策的限制,我们仍然无法得到国际上最先进的定位工作台装备,更无从获得国际上的定位不锈钢工作台技术。所以,超精密气浮定位不锈钢工作台技术的研究在我国尚处于创新性研究阶段,需要从基础做起,其中基本、迫切需要的是超精密气浮定位不锈钢工作台的动力学特性研究。
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