当前超精密定位不锈钢工作台上的控制系统主要由主控制系统、运动指令系统和位置控制系统等组成，一般采用计算机数字控制技术。目前从整体上看，控制系统所用计算机已由专用计算机向通用计算机发展。超精密定位工作台的控制方式是闭环控制方式，闭环控制的反馈信号由测量子系统获得。控制系统中的位置控制系统一般是在驱动源的调速系统中加设位置控制环组成的。
近年来，随着高性能微处理器和数字信号处理技术在控制电路的应用，超精密定位不锈钢工作台的性能得到了极大的提高。在控制策略上，尽管计算机性能的提高使许多先进的控制策略在实际应用中已成为可能，但在实际应用中占主流的还是PID控制。
然而对于不锈钢工作台非线性特征比较明显的系统，PID控制也存在明显的不足。目前，有众多学者在探索鲁棒性更好的控制策略，其中，响应速度和控制精度都比较理想的方法是滑模控带IJ(SMC)方法，本书在该控制方法的应用上也进行了探索性研究。
定位不锈钢工作台的驱动技术，不锈钢工作台驱动技术直接决定了定位工作台的速度、精度、行程和整个设备的效率。驱动有间接驱动和直接驱动两种方式。
间接驱动即电动机不直接驱动不锈钢工作台，通常通过丝杠螺母副将驱动兀件的旋转运动变为定位I作台所需的直线廷动，驱动兀件常采用直流伺服电动机和空流伺服电动机，有时也震州步进电动机这种方式的缺^是：传动链较长、系统结构复杂、附加魄量大川崖低，而且存在弹性变啦，影响精度以应』n于摩擦、磨搅而导致精艘逐渐变低等要提*驱动系统的定位精艘，就璺提高原有的驱动兀件特度，皿盯提高丝杠螺母副的加T精展并利州微忙移技术补偿米窑珊lp微米级的定位精度，或者采用静压H杠方式或摩擦驱动装置代替谈琳丝杠剐，以提高定位L作台的定位精度.
